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PROUCTS LIST
Neodry 15E日本樫山工業(yè)kashiyama真空泵工作原理:
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
產(chǎn)品詳細描述如下:
舊シリーズに比して、騒音値、軽量化が更に計られています。
*気密構(gòu)造を採用し、信頼性を向上しています。?
省エネ化を計りました。(舊シリーズに比して消費電力20%低減を?qū)g現(xiàn)。(NeoDry15E))?
式樣:?
項目 NeoDry 15E NeoDry 30E NeoDry 36E 備考?
Z大排気速度 (L/min) 250 500 600
到達圧力 (Pa) ≦1.0
Z大吸気口圧力 大気圧
接続口徑 吸気口 NW25 NW40
排気口 NW25
電動機定格出力 (kW) 0.4 0.75
電源 (50/60Hz) *1 単相:100~115V?
単相:200~240V?
三相:200~240V
ガスバラスト機構(gòu) *2 有り(N2導入可) 凝縮性ガス排気時?
Z大水蒸気処理量 *3 250g/h 350g/h
騒音値 (dB(A)) ≦56 ≦58 全閉運転時?
質(zhì)量 (kg) *4 23(▲12%) 25(▲14%) 54(▲7%)
その他 本ポンプは、*気密構(gòu)造を採用しています?
1 本電源以外のご要求につきましては、別途 ご相談下さい。?
2 ガスバラスト機構(gòu)は、オプション仕様となります。?
3 ガスバラストバルブ(オプション)全開時のZ大処理量です。?
4 ( )內(nèi)は、舊仕様に対して改善の計られている割合です。
仕様 / 型式NeoDry7ENeoDry15ENeoDry30ENeoDry36ENeoDry60ENeoDry300E
Z大排気速度
[L/min]1102505006001,0005,000
到達圧力 [Pa]
(ガスバラスト機構(gòu)未使用時)5.01.00.3
電源電圧
(50/60Hz)?*1単相AC100~120V
単相AC200~240V単相AC100~120V, 単相AC200~240V
3相AC200~240V単相AC200~240V
3相AC200~240V
ガスバラスト機構(gòu)標準採用オプションで設(shè)定可能(N2導入可)標準採用
Z大水蒸気処理量[g/h]
(ガスバラスト機構(gòu)使用時)120250350600
騒音値 [dB(A)]
(吸気口全閉時)≦56≦58≦60≦72
振動値 [μmp-p]
(吸気口全閉時)≦8
質(zhì)量 [kg]1923255456125
吸気口徑NW25NW40NW50
排気口徑NW25
外観寸法 [mm]
W*H*L?*2W:196
H:219
L:360W:210
H:250
L:385W:210
H:250
L:410W:298
H:275
L:475W:315
H:275
L:530W:304
H:575
L:574
*1. 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談下さい。 *2. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*3. 本體価格となります。オプション価格は別途ご相談下さい。
*海外規(guī)格対応についてはお問い合わせ下さい。また、上記に関しては予告なく変更される可能性があります。
KASHIYAMA工業(yè)自1946年創(chuàng)建以來,持續(xù)不斷拓展業(yè)務以應時代的需求,是秉著用戶至上的信念走過來的。特別
是在真空泵領(lǐng)域上,KASHIYAMA工業(yè)堅持不懈地研究,不斷地創(chuàng)造出xian進的高科技產(chǎn)品。
KASHIYAMA工業(yè)提供的真空泵及真空設(shè)備被應用在廣泛的高科技領(lǐng)域當中,其中包括半導體制造業(yè)和液晶顯示制
造行業(yè),產(chǎn)品在半導體制造領(lǐng)域和xian進的高科技行業(yè)中已經(jīng)榮獲了J高的評價與信賴。尤其是來自于半導體制造行
業(yè)的信賴,這是KASHIYAMA工業(yè)多年長期以來不斷開發(fā)進取真空技術(shù)的結(jié)果。
KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設(shè)備。并在J高難度的制程
發(fā)揮上獲得了客戶的高度信賴與評價。除了干式真空泵以外,魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備在廣泛的領(lǐng)域當中發(fā)揮
它的威力。
KASHIYAMA工業(yè)將本著致力于為顧客創(chuàng)造開發(fā)的精神,面對日趨復雜化的未來需求。
(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;
(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;
(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
(4)泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;
(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。
結(jié)構(gòu)
(1) 泵總體結(jié)構(gòu)型式
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。
立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。
臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。
泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構(gòu)也相對復雜。
(2) 泵的傳動方式
真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動方式的最大缺點是:a.主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便;b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱,泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側(cè)。